氧化物半导体柔性电子学研究进展

摘要：

柔性电子学器件在未来消费电子领域有巨大的应用前景,更是消费升级和社会进步的必然需求,在可穿戴传感、柔性显示、电子皮肤和可植入医疗等领域有着广泛的应用前景.柔性透明高压二极管器件在构建一体化光伏系统和自供电可穿戴设备的能源管理电路中有着巨大的应用潜力.文章首先设计并制作了一种新颖的柔性透明ZnO场效应二极管,其整流比可高达108,漏电流低至1015 A/μm,且制备工艺和普通TFT完全兼容.通过引入特定尺寸的错排(offset)区域,进一步制备了击穿电压最高可达150V的柔性透明高压二极管;利用4个单元器件组合成柔性高压全波整流电路,成功地将摩擦纳米发电机产生的高压交流电整流为直流电,存储到超级电容器中.柔性光电探测器因具有轻便耐用、柔软便携、可与非平面组织贴合等独特优势,逐渐成为光电探测技术发展的一个新方向.通过微量调控生长过程中的氧流量,系统研究了柔性非晶Ga2O3日盲紫外探测器和X射线探测器的性能与材料制备过程中氧分压的对应关系,实现了对器件响应度和响应速度的调控,并给出了相应的物理模型;通过器件结构的设计与材料物性的调控,器件的性能得到了大幅提升,并显示出良好的耐高压、耐辐照和弯曲特性.

关键词：氧化锌、氧化镓、柔性透明电子学、可穿戴电子学、薄膜二极管、高压二极管、日盲紫外探测器、X射线探测器、光电晶体管

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资助基金：国家自然科学基金批准号,61874139,11674405,11675280,11875088,61904201

在线出版日期：2020-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：538-544