国产高能量电子枪的研发

摘要：

文章介绍了自主研发的高能量电子枪的原理、设计和测试结果.该电子枪主要由电子发射组件、电磁聚焦组件、电磁偏转组件、差分抽真空维持机构和控制电源构成,可以发射、聚焦并偏转高能量电子.测试结果显示,电子枪发射的电子能量最大可达30 keV,加速电压和发射电流成正比例对应关系,电子束斑直径在100 μm以下,电子束偏转角度大于5°.通过实测Si(111)单晶体,获得了良好的电子衍射图像.

关键词：电子衍射、电子枪、电磁聚焦、电磁偏转、表面科学

所属期刊栏目：44

分类号：P31;TN

资助基金：国家自然科学基金51207016,51477023;辽宁省高等学校优秀人才项目LJQ2014046

在线出版日期：2015-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：761-765