高分辨扫描透射电子显微镜原理及其应用

摘要：

扫描透射电子显微术是目前应用最广泛的电子显微表征手段之一，具有分辨率高、对化学成分敏感和图像直观易解释等特点。其中高分辨扫描电子显微镜可以直接获得原子分辨率的Z衬度像，结合X射线能谱(EDS)和电子能量损失谱(EELS)，可在亚埃尺度上对材料的原子和电子结构进行分析。文章简述了扫描透射电子显微镜的基本原理及其应用现状，重点论述了高角环形暗场(HAADF)和环形明场(ABF)像的成像原理、特征和应用。此外，文中还对原子尺度分辨率的X射线能谱及电子能量损失谱元素分析方法进行了简述。

关键词：扫描透射电子显微镜、高角环形暗场像、X射线能谱、电子能量损失谱

分类号：TN3;TB3

资助基金：国家自然科学基金批准号51271209

在线出版日期：2015-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：446-452