纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展

摘要：

薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点，并且适于制备微型传感器，因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器，具有常规传感器不可替代的优点：纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面，提供了大量气体通道，从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度，并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状，概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性，扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。

关键词：薄膜、气敏传感器、纳米结构

分类号：TN8;TM2

资助基金：国家自然科学基金批准号10974203，51002158

在线出版日期：2014-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：364-372