国产氩离子枪的研发
氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成,可以产生并发射氩离子束,用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析,是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果,氩离子的加速电压可达2 kV,在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3 Pa的情况下,可产生4.5 mA的氩离子束流,束斑的直径在10-20 mm之间可调。
氩离子、静电透镜、离子溅射、表面科学
TH8;TL5
国家自然科学基金批准号51207016;中国博士后科学基金批准号2012M521400资助项目;中国科学院“百人计划”资助项目;辽宁省教育厅“攀登学者”资助项目
2014-01-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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