软X射线自支撑闪耀透射光栅

摘要：

软X射线自支撑闪耀透射光栅或临界角透射光栅是美国麻省理工学院为满足国际X射线天文台X射线光栅谱仪的科学要求而提出的一种新型衍射光栅，它集中了透射和反射光栅的优点，同时避免它们的缺点．文章对软x射线自支撑闪耀透射光栅的概念、基本原理、制作工艺进行了综述，介绍了美国麻省理工学院的光栅研制工作进展和文章作者的初步研究结果．

关键词：软x射线、衍射光栅、综述、临界角、各向异性腐蚀

所属期刊栏目：41

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金10875128,11005111;国家高技术研究发展计划2009AA8041029

在线出版日期：2013-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：796-802