微等离子体及其应用

摘要：

微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一.微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势,为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间.文章对微等离子体及其应用进行了综述,介绍了各种微等离子体源的产生方法,以及它们在不同领域的研究和应用情况.

关键词：低温等离子体物理学、微等离子体、综述、大气压、表面处理

所属期刊栏目：36

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10305008

在线出版日期：2007-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：771-776