X射线光电子能谱

摘要：

X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)技术也被称作用于化学分析的电子能谱(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA).XPS属表面分析法,它可以给出固体样品表面所含的元素种类、化学组成以及有关的电子结构重要信息,在各种固体材料的基础研究和实际应用中起着重要的作用.文章简要介绍了XPS仪器的工作原理和分析方法,并给出了XPS在科学研究工作中的应用实例.

关键词：X射线光电子能谱(XPS)、电子能谱、表面分析

所属期刊栏目：36

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10574153

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：405-410