微流芯片

摘要：

介绍了基于电流变液控制的微流芯片的工作原理和制作过程.由于电流变液的粘度随外加电场的增加而增大, 且这种改变是可逆的, 响应时间也极快 (毫秒量级).利用此特性,作者设计制成了电流变液数值型微流阀.基于此类微流阀,我们制成了一系列微流器件,例如:微流混合装置、微减震器以及微流泵.

关键词：微流控制、电流变液、微流混合

所属期刊栏目：35

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：907-910,封面