微纳米加工技术及其应用综述

摘要：

材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一.微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术.文章对微纳米加工技术做了一个综合的介绍,简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区别.在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则,并对当前微纳米加工技术面临的挑战和今后发展的趋势作了预测.

关键词：微纳米技术、微纳米加工、微系统技术、微小型化

所属期刊栏目：35

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2006-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-39