组合材料芯片技术及其应用

摘要：

组合材料芯片技术是用一系列掩膜在同一块基片上获得含不同参数单元样品面阵的方法.文章介绍了它在量子阱特性、碲镉汞零偏电阻值、三元合金制备、半导体深能级捕获截面的研究以及在波分复用器件、滤光片式分光元件制作方面的一些新应用.作为一种新的材料功能操控或制备技术,它在研究材料性质变化规律、建立材料性能数据库、筛选优良材料和制作面阵型元件等方面表现出高效、快捷等特点.

关键词：芯片技术、掩膜、材料

所属期刊栏目：33

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10074068,60244002;国家重点基础研究发展计划973计划G1998061404

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：419-423