全息离子束刻蚀衍射光栅

摘要：

全息离子束刻蚀衍射光栅集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点.全息离子束刻蚀已作为常规工艺手段应用于真空紫外及软X射线衍射光栅的制作.文章对全息离子束刻蚀衍射光栅的制作方法、主要类型、研究现状和应用进行了综述.

关键词：衍射光栅、全息光刻、离子束刻蚀

所属期刊栏目：33

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划804-9-2;中国科学院知识创新工程项目

在线出版日期：2004-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：340-344