具有广阔应用前景的纳米金刚石膜

摘要：

纳米金刚石膜的制备、表征和应用研究已经成为CVD金刚石膜研究领域的一个新的热点.文章重点介绍了Gruen等人在贫氢和无氢环境中制备纳米金刚石膜的开创性工作, 并和在富氢气氛中制备的纳米金刚石膜进行了对比评述.对纳米金刚石膜的表征技术和应用前景进行了讨论.

关键词：纳米金刚石膜、制备、表征和应用

所属期刊栏目：32

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：383-390