GaN基蓝光半导体激光器的发展

摘要：

文章介绍了下一代光存储用半导体激光器--GaN蓝光激光器的发展状况.对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述.阐明了GaN激光器的一些技术路线,如GaN同质生长衬底的发展,侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等.另外还介绍了GaN半导体激光器数字多功能光盘(DVD)的实用化进程.

关键词：GaN、蓝光激光器、侧向外延生长、光存储、数字多功能光盘(DVD)

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA31116Z

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：302-308