同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法--LIGA技术

摘要：

简述了微电子机械系统的起源和特点,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状.

关键词：LIGA技术、微电子机械系统、同步辐射光刻

所属期刊栏目：31

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：736-740