10.3321/j.issn:0379-4148.2002.11.001
纳米光刻技术的现状和未来
纳米技术是21世纪信息科学的一项关键技术,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分.纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景.文章对光学光刻技术进行了概述,介绍了几种纳米光刻技术的新途径、发展现状和关键问题,最后讨论了纳米光刻技术的应用前景.
纳米技术、纳米光刻、纳米结构制作、应用前景
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TN2(光电子技术、激光技术)
中国科学院知识创新工程项目A2K0009;国家重点实验室基金KFS4
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
691-695