氮化镓基发光二极管产业化中的材料物理问题

摘要：

第三代半导体氮化镓化合物半导体已成为蓝光发光二极管的主流材料,国际上的产业化已成规模,国内也有多家处于中试阶段,由于氮化镓基材料中有如此多的问题没有解决,材料制备设备,器件工艺也极需改进及优化,这既给了中国科研人员及工程技术人员一个机遇,也使他们面临着严峻的挑战.

关键词：氮化镓、发光二极管、产业化、材料物理

所属期刊栏目：31

分类号：TN1(真空电子技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA311182

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：450-452