10.3321/j.issn:0379-4148.2002.01.002
纳米器件的制备、表征及其应用
利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统,研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件.研制出了90K的单电子晶体管,实现了两单电子晶体管的电容耦合集成、多个单电子晶体管的串联集成以及单电子晶体管与传统器件的集成.
纳米器件、碳纳米管晶体管、单电子晶体管、纳米加工
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O4(物理学)
国家自然科学基金69925410,19904015
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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