CVD金刚石膜断裂性能测试装置的研究

摘要：

文章介绍了一种利用恒载荷速率加载测试金刚石膜断裂性能的试验方法,并建立了国内第一台金刚石膜断裂性能测试的专用装置.该装置利用弹性压头代替传统的刚性压头,可以成功地解决断裂试验的缓慢加载问题.试验装置的最大载荷为500N,可以在5-500N之间获得准确的载荷,误差不大于1%.最小加载速率为0.5N/s,最大加载速率为25N/s.该装置采用计算机控制,可以直接输出试验结果.该装置采用恒载荷速率(0.5N/s至2N/s)的加载方式测得的断裂性能比用恒位移速率(0.5mm/min和0.05mm/min)加载方式测得的断裂性能更低,更适合高脆性、小尺寸金刚石膜试样断裂性能的测试.

关键词：CVD金刚石膜、断裂性能、恒载荷速率、测试装置

所属期刊栏目：30

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：704-706