利用离子束制成纳米尺寸的构件

摘要：

@@ 激光在光刻方面正日益得到广泛的应用,但是,用在光刻方面的激光设备对于纳米尺寸构件的制作来说,因其系统太粗糙而变得无能为力.最近,日本科学家利用聚焦的离子束制成了纳米尺寸的构件.利用这种技术制成了线径只有80nm的微型弹簧和壁厚为亚微米、外径为2.75μm的深红色玻璃制品等.预计这种技术将有可能用来制作光通信的高质量控制元件.

机标关键词：离子束、纳米尺寸、制作、微型弹簧、控制元件、技术、激光设备、光刻、构件、玻璃制品、亚微米、科学家、光通信、质量、应用、线径、系统、外径、日本、红色

所属期刊栏目：30

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：595