纳米结构的制备及单电子器件研究

摘要：

建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.

关键词：单电子晶体管、纳米加工技术、量子点

所属期刊栏目：30

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金69925410,19904015

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5