GaAs表面硫钝化研究新进展

摘要：

GaAs及其他Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们 感兴趣的研究课题，在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用，文章着重从钝化方法 和钝化机理两方面简单地回顾了近年来GaAs表面硫钝化的最新研究进展.

关键词：GaAs、钝化、表面复合、光致发光

所属期刊栏目：29

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：673-678