强电离放电产生高浓度臭氧的基础理论与方法研究

摘要：

论述了介质阻挡强电离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程.实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解.采用α型Al2O3制成电介质薄层(230μm)以及窄放电间隙(110μm)的新工艺、新技术，取得折合电场强度E/n大于400Td的强电离放电，电子取得平均能量大于10eV，臭氧浓度达到250g/Nm3，臭氧产生效率达到200g/kWh.进而实现了臭氧产生装置生产组合模块化、小型化.

关键词：强电离放电、电介质、臭氧浓度、窄放电间隙

所属期刊栏目：29

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：615-619