某半导体超纯水制备系统工艺介绍和造价分析

摘要：

针对某半导体行业超纯水制备系统水量、水质要求,设计采用"前处理系统→MAKE UP系统→抛光系统"工艺路线,详细介绍了工艺流程、设备配置及材料部分造价情况,可供类似项目参考.

关键词：半导体、超纯水、工艺、造价

分类号：TN30(半导体技术)

在线出版日期：2023-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-43,46