10.15913/j.cnki.kjycx.2023.02.011
某半导体超纯水制备系统工艺介绍和造价分析
针对某半导体行业超纯水制备系统水量、水质要求,设计采用"前处理系统→MAKE UP系统→抛光系统"工艺路线,详细介绍了工艺流程、设备配置及材料部分造价情况,可供类似项目参考.
半导体、超纯水、工艺、造价
TN30(半导体技术)
2023-02-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
40-43,46
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10.15913/j.cnki.kjycx.2023.02.011
半导体、超纯水、工艺、造价
TN30(半导体技术)
2023-02-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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