CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征

摘要：

采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能.结果 表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)相,结构致密,与基体的结合力可达25N.

关键词：高功率脉冲磁控溅射技术、纳米复合CrAlSiN涂层、相结构、力学性能

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家级大学生创新创业项目资助201710066031

在线出版日期：2019-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59,62-63