CVD法制备氮化硼陶瓷的化学反应热力学研究

摘要：

针对BCl3-NH3-H2制备氮化硼陶瓷体系,基于已建立的热力学数据库,根据化学平衡原理,对B-N体系进行了热力学产物平衡浓度分布研究,计算得到在典型CVD工艺参数下体系中重要产物的平衡浓度分布,以及相关重要固相产物包括固相B、h-BN、c-BN和w-BN分布规律,为实验研究提供可靠的理论参考.

关键词：氮化硼陶瓷、CVD、热力学计算、气相反应

分类号：TQ174.75+8.2

在线出版日期：2018-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：67-68