超快激光单脉冲诱导硅表面火山坑形貌

摘要：

超快激光单脉冲在高于烧蚀阈值下诱导硅表面形成了纳米尺度的火山坑形貌.在相对低的通量时,火山坑的形貌为不规则圆形,沿着激光偏振方向的直径略长于垂直激光偏振方向的直径,增加了激光脉冲通量,火山坑形貌渐变成接近圆形.时域有限差分法模拟分析可能存在的物理机理为表面缺陷或因初始的弹坑引起硅表面烧蚀区域的电场重新分布,沿着激光偏振方向的电场强度增强,进而形成火山坑的不规则圆形状.

关键词：超快激光、硅、火山坑、通量

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：河北省科技计划项目15211818;河北省高等学校科学技术研究项目QN2016054;廊坊市科技计划项目2015011013;北华航天工业学院博士启动基金项目BKY-2015-01

在线出版日期：2017-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：20-21