四氟化硅提纯方法重点专利申请现状研究

摘要：

四氟化硅作为电子与半导体行业中的重要原料,在光伏产业中有着举足轻重的地位.就四氟化硅于2012年之前的提纯方法专利申请状况进行了分析,以期为四氟化硅的提出提供明确的研究方向.

关键词：四氟化硅、提纯方法、专利申请、冷冻法

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2016-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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