四氟化硅制备方法的专利研究

摘要：

四氟化硅(SiF4)作为电子与半导体工业的一种重要原料,随着多晶硅等行业的快速发展,其需求量越来越大,对四氟化硅(SiF4)的制备提出了更高的要求.简要分析了四氟化硅(SiF4)的制备方法和我国本土的专利申请现状,以期为未来的研究提供更好的发展方向.

关键词：四氟化硅、制备方法、专利申请、电子与半导体工业

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2016-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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