氢等离子体原子、分子过程研究

摘要：

在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置中，氢气作为镀膜工艺中重要的参与气体，对镀膜工艺有直接的影响。在微波放电等离子体发生装置中激发氢等离子体，使用高分辨率的多道光谱分析仪实时采集 Hα谱线，对谱线的线型分布进行微分，得出谱线的能量分布，进一步分析氢原子在等离子体中经历的分子过程。结果显示，氢原子的能量分布有3个明显的能量峰，分别在0.3 eV处、2.5 eV处和3 eV处。其中，0.3 eV处的峰比较强，表明在微波放电等离子体条件下，氢原子发生的分子过程主要是离解激发。

关键词：氢等离子体、离解激发、线型分析、分子过程

分类号：O561.4(分子物理学、原子物理学)

在线出版日期：2015-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：71-71,72