腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用

摘要：

晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数，例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法，均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。

关键词：石英晶体谐振器、晶片腐蚀、谐振电阻、腐蚀方法

分类号：TN752.2(基本电子电路)

在线出版日期：2015-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：157-157,160