浅析微悬臂梁的应用

摘要：

微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中，同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。

关键词：微悬臂梁、传感器、谐振频率、换能技术

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：35-35,39