FAIMS用非对称方波RF电源系统的研制

摘要：

在 FAIMS (High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry)系统研究中,基于新型MEMS (Micro-Electro -Me-chanical-System)工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,以TMS32F821这信号发生及控制核心,对逆变电路结构进行优化设计,并进行电磁兼容完整性分析设计,很好的实现高场非对称方波电压波形输出.并在射频干扰下,对补偿电压进行准确采集.

关键词：高场非对称方波、半桥逆变、电源完整性、电磁兼容

所属期刊栏目：26

分类号：TP216(自动化技术及设备)

资助基金：基金申请人:唐飞;项目名称:墓于高场非对称波形离子迁移谱的MEMS微型环境探测器研究;基金颁发部门:国家自然科学基金委60706030

在线出版日期：2014-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：180-181,170