10.3969/j.issn.2095-6835.2010.07.073
光刻机中光强和位置信号频谱分析的仿真
本文对某型光刻机同轴对准中失败的原因进行了分析,可能由于光强信号和位置信号中过大的噪声引起,并时此种情况进行了MATLAB仿真.通过对光强信号和位置信号进行频谱分析,能够对诊断进行指导.
光刻机、频谱分析、噪声、仿真
26
TP206(自动化技术及设备)
2014-07-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
178-179
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10.3969/j.issn.2095-6835.2010.07.073
光刻机、频谱分析、噪声、仿真
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TP206(自动化技术及设备)
2014-07-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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