厚膜混合集成电容式加速度计

摘要：

设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定.为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能测试.测试数据表明,其测试精度提高了一个数量级,线性度和温度特性均有很大的改善.

关键词：电容式加速度计、微小电容检测、厚膜混合集成

所属期刊栏目：26

分类号：TN452(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：基金申请人:李燕,刘军,王玲;项目名称:机械工业中微弱信号检测技术研究;河南省科技攻关项目082102210111

在线出版日期：2014-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：105-106,64