10.3969/j.issn.1008-0570.2008.26.118
微型ICP激发源微电路组件的参数设计
本文简要介绍了一种采用微结构平面螺旋线圈的新的ICP(电感耦合等离子体)光谱激发源.作者设计加工出的基于PCB(印刷电路板)镀金工艺的微型ICP激发源在13.56MHz下成功启燃,并给出了ICP火炬照片.详细介绍了作者研制的微型ICP激发源的平面螺旋电感和交指电容的参数设计方法,给出了设计版图和实物照片,微结构线条宽度和间隙在数百微米量级.展望了平面螺旋电感和交指电容在微型ICP激发源的中的应用前景.
微型ICP激发源、平面螺旋电感、交指电容、参数设计
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TG115.3+31(金属学与热处理)
河北省科技厅科技攻关计划项目名称:微结构ICP激发源及其性能研究07217124;河北省教育厅科研项目名称:基于微电子机械技术的微型ICP发生器2004408
2009-02-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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