基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

摘要：

针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法.RBF神经网络采用3-8-3结构.建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质.

关键词：半导体扩散炉、RBF神经网络、PID温度控制

所属期刊栏目：24

分类号：TP273.5(自动化技术及设备)

资助基金：半导体扩散炉温度控制系统研究;基金颁发部门:湖北省教育厅D200625006

在线出版日期：2008-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：310-311