大直径单晶体生长控制系统研制

摘要：

本文研制开发了一种大直径单晶体生长控制系统,主要部件采用稀土永磁直流力矩测速机组,滚珠丝杠,嵌入式单片机、交流伺服电机等.提出了一种用单片机和D/A转换器实现交流伺服电机多波形控制的优化算法,提高了控制精度,简化了编程方案.试验证明它性能可靠,工作稳定,是较完美的大直径单晶体生长控制系统.现已正式投入使用.

关键词：单晶体生长、滚珠丝杠、控制系统、嵌入式单片机

所属期刊栏目：24

分类号：TM306(电机)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50372036

在线出版日期：2008-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-59,237