10.3969/j.issn.1008-0570.2008.13.022
ControlNet技术在PECVD设备中的应用
本文介绍了ControlNet总线技术特点,并将其应用到PECVD设备的控制系统中.试验结果表明,采用ControlNet总线控制技术,PECVD设备淀积薄膜的质量有明显地提高.
现场总线、ControlNet、PECVD
24
TP32(计算技术、计算机技术)
2008-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
48-50
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10.3969/j.issn.1008-0570.2008.13.022
现场总线、ControlNet、PECVD
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TP32(计算技术、计算机技术)
2008-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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