八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究

摘要：

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应.文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应.

关键词：加速度传感器、灵敏度、横向效应、压阻式

所属期刊栏目：24

分类号：TP302(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金50535030;50405025;50375050;霍英东教育基金01052

在线出版日期：2008-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：138-140