微加速度计在恶劣环境下的可靠性

摘要：

微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的进行了讨论,并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议,可以为其他科研工作者提供参考.

关键词：可靠性、加速度计、失效模式、残余应力

所属期刊栏目：23

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金重点项目50535030;50405025;50375050;霍英东青年教师基金01052

在线出版日期：2008-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：227-229