一种实用纳米级位移测量校准器

摘要：

提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性.由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因而具有良好的抗干扰特性,能够应用于一般实验环境.

关键词：纳米位移、校准器、共光路干涉

所属期刊栏目：23

分类号：Q958.9;S852.7(动物学)

资助基金：国家自然科学基金50475136;湖北省自然科学基金2005ABA300

在线出版日期：2008-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：251-252,309