压阻式微加速度计的结构优化设计

摘要：

在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验,通过改变一个系统参数来分析系统性能.但随着系统参数的日益增加,这种类型的优化变得越来越困难.鉴于此,本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法,通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较,加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级,输出灵敏度提高了4倍以上.本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍.

关键词：微加速度计、压阻式、有限元优化、结构优化

所属期刊栏目：23

分类号：TN302(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50535030;5040502550375050;霍英东教育基金01052

在线出版日期：2008-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：221-223