叉指微加速度计的设计与闭环检测研究

摘要：

设计了一种"叉指式"微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合.最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g.

关键词："叉指式"微加速度计、有限元分析、闭环检测

所属期刊栏目：23

分类号：TH824

资助基金：国家自然科学基金50375154

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：214-216,247