三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析

摘要：

文章针对一种三维MEMS加速度计,提出了三维加速度计的测试方法,并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析.通过对其设计原理和内部结构的描述,指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点.针对该加速度计,作者设计了测试装置,制作了测试电路,并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程.分别在三个方向上,对此三维MEMS加速度计进行了多次对比测试,同时采集包括标准加速度计输出和MEMS加速度计三向输出在内的四路信号,以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS加速度计的轴间耦合分析.测试结果表明,此测试方法和装置是可靠有效的,且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中.

关键词：MEMS、三维、加速度计、测试

所属期刊栏目：23

分类号：TP206+.1(自动化技术及设备)

资助基金：山西省自然科学基金2006011037

在线出版日期：2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：208-210