EFAB加工技术及其在微机电系统中的应用

摘要：

EFAB是一种新型的微机械加工技术,它旨在快速、批量、自动化加工复杂的三维高深宽比微金属结构,该技术是在实体自由成型制作技术上发展而来的.本文主要介绍EFAB加工技术的工艺流程、发展和主要特点,列举EFAB技术在微器件制作中的应用情况,并将该技术与其他微机械加工工艺进行了比较.

关键词：EFAB、SFF、微机电系统、电沉积、实时掩模

所属期刊栏目：23

分类号：TQ153.4

资助基金：武器装备预研基金

在线出版日期：2007-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：257-259,209