基于VI的恒温区段测量系统设计

摘要：

在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段,针对人工测量效率低,精度差等问题,设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统,阐述了系统的组成和测量原理.

关键词：虚拟仪器、恒温区、测量

所属期刊栏目：22

分类号：TP216;TH811(自动化技术及设备)

资助基金：教育部"211工程"项目D030400404011

在线出版日期：2006-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：170-171,207