10.3969/j.issn.1008-0570.2006.10.040
基于OPC技术离子源控制系统研究
采用ICPDAS公司的可编程自动化控制器(PAC)Wincon 8000结合稳定的I/O模块,实现基于OPC技术规范的离子源网络系统控制.研究了OPC技术在现场设备间的开放式数据交换和异构网间的数据共享,并实现大量数据源通信的标准机制.
OPC、可编程自动化控制器、网络、电子回旋共振
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TP273.5(自动化技术及设备)
2006-05-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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