磁致伸缩驱动器在干涉仪动态调整系统的设计与实现

摘要：

基于超磁致伸缩材料的特性设计制作了一种用于迈克尔逊干涉仪定镜自适应校正的微位移驱动器,分析了驱动器的工作磁场,给出了位移输出的特性曲线.将其应用于激光干涉平台,可对定镜进行两个自由度的倾斜调整,并通过激光干涉信号进行反馈控制,对其发展起了极大的推动作用.

关键词：超磁致伸缩材料、驱动器、动态调整、迈克尔逊干涉仪

所属期刊栏目：22

分类号：TH137

资助基金：科技部专项基金2004BA210A02

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：186-188