基于CCD技术的非接触在线检测仪

摘要：

CCD电荷耦合器件是20世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件.日前它已成为集光学、电子学、精密机械与计算机技术为一体的综合性技术.它被广泛应用于各种加工件的在线检测和高精度、高速度的非接触检测技术领域.CCD像传感器、光学系统、计算机数据采集和处理系统构成的CCD光电尺寸检测仪器的使用范围和优越性是现有机械式、光学式、电磁式测量仪器都无法比拟的.这与它本身所具有的高分辨率、高灵敏度、像素位置信息强、结构紧凑及其自扫描的特性密切相关.总之,CCD技术是一项很有前景的技术.

关键词：电荷耦合器件、光学系统、数据采集

所属期刊栏目：21

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：178-179