10.3969/j.issn.1008-0570.2005.04.089
基于CCD技术的非接触在线检测仪
CCD电荷耦合器件是20世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件.日前它已成为集光学、电子学、精密机械与计算机技术为一体的综合性技术.它被广泛应用于各种加工件的在线检测和高精度、高速度的非接触检测技术领域.CCD像传感器、光学系统、计算机数据采集和处理系统构成的CCD光电尺寸检测仪器的使用范围和优越性是现有机械式、光学式、电磁式测量仪器都无法比拟的.这与它本身所具有的高分辨率、高灵敏度、像素位置信息强、结构紧凑及其自扫描的特性密切相关.总之,CCD技术是一项很有前景的技术.
电荷耦合器件、光学系统、数据采集
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TN386(半导体技术)
2005-05-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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